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基礎(chǔ)信息Product information

產(chǎn)品名稱：

半導(dǎo)體封裝材料探針臺(tái)/兼容顯微鏡微調(diào)移動(dòng)

產(chǎn)品型號(hào)：Huace-6

廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家

所在地：北京市

更新日期：2024-11-01

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

半導(dǎo)體封裝材料探針臺(tái)/兼容顯微鏡微調(diào)移動(dòng),中端探針臺(tái)可兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng) ；可升級(jí)做射頻，大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用

產(chǎn)品特性Product characteristics

品牌	華測(cè)

中端探針臺(tái)

產(chǎn)品簡(jiǎn)介：

探針臺(tái)是一種輔助執(zhí)行機(jī)構(gòu)，測(cè)試人員把需要量測(cè)的器件放到探針臺(tái)載物臺(tái)（chuck）上，在顯微鏡配合下，X-Y移動(dòng)器件，找到需要探測(cè)的位置。接下來(lái)測(cè)試人員通過(guò)旋轉(zhuǎn)探針座上的X-Y-Z的三向旋鈕，控制前部探針（射頻或直流探針），精準(zhǔn)扎到被測(cè)點(diǎn)，從而使其訊號(hào)線與外部測(cè)試機(jī)導(dǎo)通，通過(guò)測(cè)試機(jī)測(cè)試人員可以得到所需要的電性能參數(shù)。

產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用：

◆ 滿足I-V/C-V，PIV測(cè)試，光電測(cè)試等；

◆ 可用于8英寸以內(nèi)樣品測(cè)試；

◆ 同軸絲杠傳動(dòng)結(jié)構(gòu)，線性移動(dòng)；

◆ 兼容高倍率金相顯微鏡，可微調(diào)移動(dòng)；

◆ 可升級(jí)做射頻，大電流方面的測(cè)試和激光修復(fù)應(yīng)用；

技術(shù)參數(shù)：

臺(tái)體規(guī)格
尺寸	4英寸/6英寸/8英寸
水平旋轉(zhuǎn)	可360°旋轉(zhuǎn)，可微調(diào)15°，精度0.1°，帶角度鎖死裝置
X-Y移動(dòng)行程	4英寸×4英寸/6英寸×6英寸
X-Y移動(dòng)精度	10μm/1μm
樣品臺(tái)Z軸調(diào)節(jié)	可升降10mm
樣品固定	真空吸附，中心吸附孔，多圈吸附環(huán)
針座平臺(tái)	U型針座平臺(tái)，zuiduo可放置6個(gè)探針座
背電極測(cè)試	樣品臺(tái)電學(xué)獨(dú)立懸空，4mm插孔可接背電極
外形尺寸	400mm長(zhǎng)400mm寬600mm高/580mm長(zhǎng)480mm寬600mm高
設(shè)備重量	約20KG

光學(xué)系統(tǒng)
顯微鏡類型	單筒顯微鏡/體式顯微鏡
放大倍率	16X-200X/20X-4000X
移動(dòng)行程	X-Y軸行程2英寸*2英寸，Z軸行程50.8mm
光源	外置LED環(huán)形光源/同軸光源
CCD	200萬(wàn)像素/500萬(wàn)像素/1200萬(wàn)像素

定位器
X-Y-Z移動(dòng)行程	12mm12mm12mm
移動(dòng)精度	10μm/2μm/0.7μm/0.5μm
吸附方式	磁力吸附，真空吸附
線纜	同軸線/三軸線
漏電精度	10pA/100fA/10fA
固定探針	彈簧固定/管狀固定
接頭類型	BNC/三軸/香蕉頭/鱷魚夾/接線端子
針尖直徑	0.2μm/1μm/2μm/5μm/10μm/20μm
針尖材質(zhì)	鎢鋼；鈹銅